電子氣體的發展現狀

電子氣在IC產業中的重要性, 以及我國尖端技術的牽制作用, 已經引起我國高層主管部門的高度重視, 因此, 從國家“十五”“863”等多個資金渠道, 已開始對國產電子氣體的研究及產業化生產提供了資金扶持, 所以筆者認為隨著我國IC產業向縱深方向發展。

我國民營企業逐漸做大、做強, 在未來幾年中我國電子氣發展徘徊的局面將會打破, 受IC 產業的極大牽動, 一大批技術比較成熟的電子氣體如NH3、N2O、Cl2、BF3、SF6 ，甚至PH3、B2H6等電子氣品種, 將采用國內外先進的設備、儀控配套進行批量化、產業化的發展。

此外, 世界上電子氣制造廠也將盯住我國IC產業的巨大市場, 屆時競爭將加劇, 由于IC產業發展速度日新月異, 電子氣無疑要“糧草未動、兵馬先行”, 為適應電子氣體發展的急需, 我國各專業研究院所、大專院校, 也將在電子氣的研發上有所突破, 在落后的一些氣體品種上進行實用化研究, 以期在合成、純化等方面有所創新, 終實現我國電子氣體產業化生產的目標。

總之, 我國電子氣體經過三十余年的發展, 盡管在“九五”期間國家在此方面沒有投入, 但我國電子氣在某些品種已在市場的競爭中占有一定的優勢, 這對平衡國際電子氣體在我國的價格起了重要作用, 隨著我國IC產業的發展, 我國電子氣體將有所突破, 市場占有率也必將不斷提高。